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超快激光加工系統(tǒng)配置高重頻飛秒激光放大器及高精度大行程氣浮導軌直線電機位移平臺，實現(xiàn)亞微米級空間分辨率的加工精度；同時配置空間光調(diào)制器（SLM）進行激光焦斑整形，可將飛秒激光聚焦于透明材料內(nèi)部直寫加工。該系統(tǒng)適合對于多種結(jié)構(gòu)器件進行減材制造或折射率改性制造，適用于高等院校及科研院所進行光波導直寫、光纖光柵刻寫、硬質(zhì)材料精密切割與鉆孔、材料表面微納加工等方向研究。吉林大學超快激光精密加工團隊獲省部級科學技術(shù)一等獎3項，國家自然科學二等獎1項（2020年）。研究團隊依托集成光電子學國家重點實驗室，已完成《超快激光與材料相互作用多尺度理論與觀測》《面向跨尺度飛秒激光加工的微區(qū)形態(tài)性能原位監(jiān)測與分析系統(tǒng)研制》《飛秒激光高速、大視場微納制造的新方法及其機理研究》等科技部或國家自然基金委重大研發(fā)項目。研究團隊擁有近20年飛秒激光加工技術(shù)累積，對軟材料SU8光刻膠，硬質(zhì)材料包括玻璃、藍寶石、石英、硅、金剛石、硫化鋅等有雄厚的加工技術(shù)積淀。